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    PECVD射頻模塊

    簡要描述:PECVD射頻模塊通過反應氣態放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點,工藝流程簡單,與傳統CVD系統比較,生長溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

    • 產品型號:KT-PE500Z
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2020-04-02
    • 訪  問  量:353
    詳細介紹
    品牌自營品牌電動機功率1000KW
    外形尺寸0mm重量16kg
    應用領域電子

          KT-PE500ZPECVD射頻模塊是借助于輝光放電等方法產生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。通過反應氣態放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點,工藝流程簡單,與傳統CVD系統比較,生長溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

    PECVD射頻模塊產品參數:

    型號

    KT-PE150S

    KT-PE500Z

    信號頻率

    13.56MHz±0.005%

     

    功率輸出范圍

    0-150W

    0-500W

    功率穩定度

    ≤5W

     

    大反射功率

    40W

     

    射頻輸出接口

    7/16,female  50 Ω

     

    功率穩定度

    ≤5W

     

    匹配方式

    手動調節匹配

    500W自動匹配

    耦合方式

    電感式耦合

     

    輝光壓力

    ≤30Pa

     

    供電電壓

    50/60Hz 220v±10%

     

    整機效率

    ≥70%

     

    冷卻方式

    強制風冷

     

    支持爐管直徑

    φ25-φ80

    φ25-φ150

    感應區

    210mm

     

    整機重量

    48KG

     

    整機尺寸:H x W x D(mm)

    600 x 600x 1100

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